AJA多功能蒸發(fā)刻蝕設(shè)備--現(xiàn)貨(圖文)

發(fā)布者：眺望科技                     發(fā)布日期：2025-04-03

AJA多功能（電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)和離子束刻蝕）系統(tǒng)6-8周內(nèi)可以發(fā)貨。配置簡明如下：

1.­304 S/S不銹鋼超高真空反應(yīng)腔體，高36" x  內(nèi)徑24" ；

2.集成有2個電子束蒸發(fā)源、2個熱蒸發(fā)源和1個4cm柵極離子源；

3.樣品臺最大可容納4英寸基片，可加熱至800℃；

4.配預(yù)真空室；

5.極限真空優(yōu)于5x10^-8 Torr；

6.沉積均勻性：橢偏儀測量 沉積SiO₂≤±1.5% @100mm基片（去除5mm邊緣）。

詳細(xì)配置與報價可隨時聯(lián)系：400 615 4535/023 8832 5169。