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多波長(zhǎng)橢偏儀 Multi-wave Ellipsometer

FS新一代多波長(zhǎng)橢偏儀

  1. 產(chǎn)品說(shuō)明
  2. 選配件
  3. 詳情咨詢(xún)

Film Sense新一代多波長(zhǎng)橢偏儀系統(tǒng)現(xiàn)已問(wèn)世。Film Sense FS-1EXFS-1UV橢偏儀測(cè)量薄膜的功能更強(qiáng),波長(zhǎng)更長(zhǎng),光譜范圍也更廣。新一代橢偏儀系統(tǒng)既擁有* FS-1專(zhuān)利技術(shù)的相同特點(diǎn)(經(jīng)久耐用的LED光源,快速可靠無(wú)移動(dòng)部件探測(cè)器,緊湊的設(shè)計(jì)以及瀏覽器軟件界面),同時(shí)具備易用性和可購(gòu)性。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)及規(guī)格

FS-1EXTM 橢偏儀

6 條波長(zhǎng),光譜范圍405–950 nm

微型光學(xué)器件光源137 x 80 x 60 mm,探測(cè)器110 x 80 x 60mm

FS-1相比強(qiáng)度增加4倍以上

2較長(zhǎng)波長(zhǎng)(850和950 nm)可以測(cè)量更厚的透明薄膜(厚度可達(dá)5μm)以及吸收性薄膜(如多晶硅、SiGe、非晶硅等)

2較長(zhǎng)波長(zhǎng)也提高了對(duì)薄膜電阻率測(cè)量

6波長(zhǎng)和更寬的光譜范圍強(qiáng)化了測(cè)量多層膜堆的能力

 

FS-1UVTM 橢偏儀

6條波長(zhǎng),光譜范圍280–660 nm

微型光學(xué)器件光源137 x 80 x 60 mm探測(cè)器110 x 80 x 60mm

紫外波長(zhǎng)(280 nm和305 nm)超過(guò)大多數(shù)半導(dǎo)體的間接帶隙,增強(qiáng)合成物的敏感度

紫外波長(zhǎng)也可以加強(qiáng)透明基片和薄膜折射率對(duì)比

 

FS-1TM(Gen. 2)橢偏儀

4波長(zhǎng),不同于FS-14條波長(zhǎng)

微型光學(xué)器件光源和探測(cè)器110 x 80 x 60mm

略寬的光譜范圍 (450–660 nm)

FS-1相比強(qiáng)度增加4倍以上 

精度提高2

更容易內(nèi)部校準(zhǔn)

測(cè)量0 - 2μm厚度范圍內(nèi)單層透明薄膜的最佳選擇,精度可達(dá)0.001 nm

 

自動(dòng)映射系統(tǒng)

FS-1EX多波長(zhǎng)橢偏儀與小型自動(dòng)映射系統(tǒng)組裝快速、準(zhǔn)確測(cè)量晶圓薄膜厚度均勻性。

6條波長(zhǎng)的橢圓偏振測(cè)量數(shù)據(jù)(405,450,525,660850,950 nm),帶經(jīng)久耐用的LED光源以及無(wú)移動(dòng)部件的探測(cè)器

大多數(shù)透明薄膜厚度地精確測(cè)量0 - 5μm

典型薄膜厚度重復(fù)性0.015 nm

集成聚焦探頭,標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸0.8 x 1.9 mm(其他光斑尺寸可供選擇)

可使樣品自動(dòng)校準(zhǔn)電動(dòng)z型臺(tái)

靈活的掃描圖形編輯器

測(cè)量參數(shù)的等高線和三維圖

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