Film Sense新一代多波長(zhǎng)橢偏儀系統(tǒng)現(xiàn)已問(wèn)世。Film Sense FS-1EX和FS-1UV橢偏儀測(cè)量薄膜的功能更強(qiáng)，波長(zhǎng)更長(zhǎng)，光譜范圍也更廣。新一代橢偏儀系統(tǒng)既擁有* FS-1專(zhuān)利技術(shù)的相同特點(diǎn)(經(jīng)久耐用的LED光源，快速可靠且無(wú)移動(dòng)部件的探測(cè)器，緊湊的設(shè)計(jì)以及瀏覽器軟件界面)，同時(shí)具備易用性和可購(gòu)性。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)及規(guī)格

FS-1EX^TM 橢偏儀

l 6 條波長(zhǎng)，光譜范圍405–950 nm

l 微型光學(xué)器件：光源137 x 80 x 60 mm，探測(cè)器110 x 80 x 60mm

l 與FS-1相比強(qiáng)度增加4倍以上

l 2條較長(zhǎng)波長(zhǎng)(850和950 nm)可以測(cè)量更厚的透明薄膜(厚度可達(dá)5μm)以及吸收性薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）

l 2條較長(zhǎng)波長(zhǎng)也提高了對(duì)薄膜電阻率的測(cè)量

l 6條波長(zhǎng)和更寬的光譜范圍強(qiáng)化了測(cè)量多層膜堆的能力

 

FS-1UV^TM 橢偏儀

l 6條波長(zhǎng)，光譜范圍280–660 nm

l 微型光學(xué)器件：光源137 x 80 x 60 mm，探測(cè)器110 x 80 x 60mm

l 紫外波長(zhǎng)(280 nm和305 nm)超過(guò)大多數(shù)半導(dǎo)體的間接帶隙，可增強(qiáng)合成物的敏感度

l 紫外波長(zhǎng)也可以加強(qiáng)透明基片和薄膜的折射率對(duì)比

 

FS-1^TM(Gen. 2)橢偏儀

l 4條波長(zhǎng)，不同于FS-1的4條波長(zhǎng)

l 微型光學(xué)器件：光源和探測(cè)器110 x 80 x 60mm

l 略寬的光譜范圍 (450–660 nm)

l 與FS-1相比強(qiáng)度增加4倍以上 

l 精度提高2倍

l 更容易內(nèi)部校準(zhǔn)

l 測(cè)量0 - 2μm厚度范圍內(nèi)單層透明薄膜的最佳選擇，精度可達(dá)0.001 nm

 

自動(dòng)映射系統(tǒng)

FS-1EX多波長(zhǎng)橢偏儀與小型自動(dòng)映射系統(tǒng)組裝，可快速、準(zhǔn)確地測(cè)量晶圓薄膜厚度均勻性。

l 6條波長(zhǎng)的橢圓偏振測(cè)量數(shù)據(jù)（405，450，525，660，850，950 nm），帶經(jīng)久耐用的LED光源以及無(wú)移動(dòng)部件的探測(cè)器

l 大多數(shù)透明薄膜厚度地精確測(cè)量：0 - 5μm

l 典型薄膜厚度重復(fù)性：0.015 nm

l 集成聚焦探頭，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸：0.8 x 1.9 mm(其他光斑尺寸可供選擇)

l 可使樣品自動(dòng)校準(zhǔn)的電動(dòng)z型臺(tái)

l 靈活的掃描圖形編輯器

l 測(cè)量參數(shù)的等高線和三維圖