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SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對(duì)單層膜、多層膜和基底材料進(jìn)行高精度反射光譜測(cè)量??蓪?duì)吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率
主要特點(diǎn)
l 高精度反射率測(cè)量,非接觸,正入射光
l 寬光譜范圍,可從 UV至NIR
l 測(cè)量反射率曲線R, 薄膜厚度,折射率
l FTPexpert 軟件,用于測(cè)量薄膜的光學(xué)參數(shù)
l 測(cè)量半導(dǎo)體混合物的組分 (例如: AlGaN on GaN)
l 分析各向異性薄膜
技術(shù)指標(biāo)
l 光譜范圍擴(kuò)展至DUV (200 nm)
l 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm)
l x-y 地貌圖掃描樣品臺(tái)和軟件
l 攝象頭
l PC