SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對(duì)單層膜、多層膜和基底材料進(jìn)行高精度反射光譜測(cè)量?？蓪?duì)吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率 

主要特點(diǎn)

l 高精度反射率測(cè)量，非接觸，正入射光 

l 寬光譜范圍，可從 UV至NIR 

l 測(cè)量反射率曲線R, 薄膜厚度，折射率 

l FTPexpert 軟件，用于測(cè)量薄膜的光學(xué)參數(shù) 

l 測(cè)量半導(dǎo)體混合物的組分 (例如： AlGaN on GaN) 

l 分析各向異性薄膜 

技術(shù)指標(biāo)

l 光譜范圍擴(kuò)展至DUV (200 nm) 

l 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm) 

l x-y 地貌圖掃描樣品臺(tái)和軟件 

l 攝象頭 

l PC