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多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器，對測量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料（基底）
l 超高精度和穩(wěn)定性，來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器
l 高精度樣品校準，使用光學自動對準鏡和顯微鏡
l 快速簡易測量，可選擇不同的應用模型和入射角度
l 多角度測量，可完全支持復雜應用和精確厚度
l 全面的預設應用，包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域
技術規(guī)格
l 激光波長632.8 nm
l 150 mm (z-tilt) 載物臺
l 入射角度可調(diào)，步進5º
l 自動對準鏡/顯微鏡，用于樣品校準
l Small footprint
l 以太網(wǎng)接口連接到PC
l 微細光斑選項，光斑直徑30微米
l 手動x-y方向移動載物臺，行程150 mm
l 地貌圖 選項 (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附)
l 攝象頭選項，用于取代目鏡進行樣品對準
l 液體膜測量單元
l 自動對焦選項，同地貌圖選項結(jié)合
l 反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米
l 雙波長激光 (405 nm 或1550 nm)
l SIMULATION軟件
l 針對粗糙表面硅太陽能電池的測量裝置
