Innovative˙Powerful˙Affordable

設(shè)計(jì)創(chuàng)新˙功能強(qiáng)大˙經(jīng)濟(jì)實(shí)惠

Film Sense FS-1™ 多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng)LED光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器，可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測(cè)量。

大多數(shù)厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要簡(jiǎn)單的1秒測(cè)量，就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測(cè)量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。

FS-1這款功能強(qiáng)大的多波長(zhǎng)橢偏儀，售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

主要特點(diǎn)

l 4個(gè)LED光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm），黃色（580nm），紅色（635nm）

l 橢偏儀探測(cè)器中無可移動(dòng)部件

l 卓越的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于0.001nm（1秒獲取數(shù)據(jù)），對(duì)于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

l 集成計(jì)算機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本或平板電腦

在線測(cè)量功能

自動(dòng)Mapping系統(tǒng)

FS-1™多波長(zhǎng)橢偏儀，帶緊湊自動(dòng)mapping樣品臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)快速，準(zhǔn)確和可靠的薄膜均勻性測(cè)量。

軟件控制

選配件

聚焦光束選件

樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm或0.3 x 0.7 mm

聚焦光束檢測(cè)

聚焦光束檢測(cè)系統(tǒng)包括一個(gè)FS-1多波長(zhǎng)橢偏儀，帶光束聚焦光學(xué)器件和一個(gè)手動(dòng)位移臺(tái)。該系統(tǒng)非常適合用于手動(dòng)檢測(cè)和在圖案化半導(dǎo)體晶圓上進(jìn)行質(zhì)量控制測(cè)量?？蛇M(jìn)行科研測(cè)量，帶小尺寸光斑和相機(jī)成像功能手動(dòng)位移臺(tái)，可容納4’，5’，6’晶圓樣品上光束尺寸0.3 x 0.7 mm樣品上光束位置視頻圖像